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用热处理来增强氧化锌中的氮掺杂
发布时间:2015-01-10 12:04 发布人:氧化锌 点击:
 
       氧化锌厂通过热处理来增强氧化锌中的氮掺杂的研究工作已经展开。使用光致电子顺磁共振技术(EPR),并在空气或者氮气氛下在600-900温度范围内退火,在使用该方法制备的氮掺杂氧化锌晶体中,观察到了氮受主的形成。这一结果的原因是N在热退火过程中替代为浅的施主杂质。
      固源化学气相淀积法(SS-CVD)也可以用来氧化锌的N掺杂。二水醋酸锌(Zn(CH3COO)2·2H2O, solid)和(CH3COONH4, solid)分别作为固体源和N源。实验结果的样品显示出P型导电性,空穴浓度为9.8×1017 cm?3,电阻率20Ωcm,空穴迁移率0.97cm2 /V s。
      尽管上面报道说已经成功的获得了N掺杂的氧化锌薄膜,但也有相当多的报道,作者没有能够重复这些结果,即使采用相同的生长方式,相同的生长条件和相同的N源。因此,即使认为该报告的结果表明是真正的p型氧化锌,重现这些结果仍是一个大问题,而且这个问题必须得在氧化锌应用于光电子学,如同质结LED和激光二极管(LDs)之前解决。最后,这个问题至少等到高效率注入的ZnO的p - n结才能解决。